삼성전자·ASML, 차세대 반도체 마스크 12인치로 확대…생산성·원가 개선

삼성전자가 네덜란드 노광설비 기업 ASML과 차세대 반도체 기술 확보에 나선다.양사는 8일 기존 6인치 포토마스크를 12인치로 키우는 공동 개발에 참여하고, 2028년에는 업계 최초로 차세대 D램 생산에 차세대 노광 설비인 '하이High NA EUV극자외선' 장비를 도입한다고 발표했다.삼성전자는 ASML이 주도하는 '대형 마스크 컨소시엄Large Size Mask Consortium'에 참여해 12인치 포토마스크 개발을 위한 공동 연구, 표준 개발 등의 협력 활동을 펼칠 계획이다.포토마스크는 미세 회로 패턴을 정교하게 새